| | AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
| 流量范圍 | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0- 15 SLPM | 0-20 SLPM |
| 后綴-標(biāo)定氣體 | VA-氬氣（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮?dú)猓∟2） | |||
| | Min Typ Max | |||
| 推薦供電電源VDC | 8.0 10±0.01 15 | |||
| 功耗（mW） | 100 | |||
| 反應(yīng)時(shí)間（mA） | 60 | |||
| 零點(diǎn)輸出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
| 零點(diǎn)漂移，VDC -20~70˚C | ±0.050 ±0.200 | |||
| 最大共模壓力psi | 50 | |||
| 溫度范圍 | -20~+70˚C | |||
| 沖擊指標(biāo) | 100g峰值，6ms 半正弦（3drops,3 的每一方向） | |||
| 輸出@ 較整點(diǎn) | 5VDC@ 滿(mǎn)量程流量 | |||
| 壓差@ 滿(mǎn)量程 | 參照壓力& 氣流表 | |||
| 滿(mǎn)量程輸出漂移+20˚~-25˚C +20˚~70˚C | 后綴VA 或VN ±7.0% 讀數(shù)，VC ±10.0% 讀數(shù) | |||
| 線(xiàn)性誤差 | ±3.0% 讀數(shù) | |||
| 遲滯& 重復(fù)性 | ±0.5% 讀數(shù) | |||
| 連接器（4pin receptacle） | AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） | |||
| 泄漏 max | 0.1psi/min,在靜態(tài)中 | |||
| 流量范圍（滿(mǎn)量程） | | +200SLPM | | |
| | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 單位 |
| 供電電壓（1） | 9.990 | 10.000 | 10.010 | VDC |
| 供電電壓 | 8.000 | 10.000 | 15.000 | VDC |
| 功率損耗 | | | 60 | mw |
| 輸出負(fù)載 | 沉電路 | 10 | mA |
| | 源電路 | 20 | mA |
| 標(biāo)定氣體 | | 空氣 | |
| 線(xiàn)性誤差 | | +/-0.3 | % 讀數(shù) |
| 反應(yīng)時(shí)間 | | 6 | ms |
| 操作溫度 | | -25˚~85˚C | |
| 儲(chǔ)藏溫度 | | -40˚~90˚C | |
| 重復(fù)性和磁帶 | | +/-0.5 | % 讀數(shù) |
| 流量（SLPM） | 典型值（VDC） | 公差（VDC） | 壓降（英寸水柱） |
| 0 | 1.00 | 0.05 | 0 |
| 25 | 2.99 | - | 0.04 |
| 50 | 3.82 | 0.18 | 0.13 |
| 75 | 4.30 | - | 0.21 |
| 100 | 4.58 | - | 0.34 |
| 150 | 4.86 | - | 0.65 |
| 200 | 5.00 | 0.36 | 1.09 |
| | AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
| 流量范圍（span） | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
| 壓力范圍（psi） | | | | | ||
| （參照附錄） | | | ±2.0”水柱 | | ||
| 輸出電壓 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 標(biāo)定點(diǎn) | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
| 零點(diǎn)電壓 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零點(diǎn)漂移 | | | | | ||
| +25~-25˚C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85˚C | | | | | ||
| 輸出電壓漂移 | | | | | ||
| Max | | | | | ||
| +25~-25˚C | -4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | +24.0% 讀數(shù) | -5% 讀數(shù) | ||
| +25~+85˚C | +4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | -24.0% 讀數(shù) | +5% 讀數(shù) | ||
| 重復(fù)性& 遲滯Max | ±0.5% 讀數(shù) | ± 1% 讀數(shù) | ±0.5% 讀數(shù) | ±1% 讀數(shù) | ||
| | Min Typ. | Max. | | |||
| 電源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | | |||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | | |||
| 反應(yīng)時(shí)間（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | | |||
| 共模壓力（psi） <, /TD> | | 25 | | | | |
| 工作溫度 | -25~85˚C | | | |||
| 儲(chǔ)存溫度（˚C） | -40~90˚C | | | |||
| 沖擊（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） | | | |||
| 推薦型號(hào) | 量程 |
| AWM3100V | +200SCCM |
| AWM3201CR | ±0.5 英寸水 |
| AWM3200V | ±2 英寸水 |
| 本公司為Honeywell授權(quán)一級(jí)代理商， 氣體質(zhì)量流量傳感器，現(xiàn)貨供應(yīng)，價(jià)格優(yōu)惠 AWM3000系列 AWM3100V AWM3300V AWM3150V AWM40000系列 AWM42150VH AWM43300V AWM43300VH AWM43600V AWM5000系列 AWM5101VN AWM5104VN AWM7000系列 AWM720P1 | |
| | AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
| 流量范圍（span） | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
| 壓力范圍（psi） | | | | | ||
| （參照附錄） | | | ±2.0”水柱 | | ||
| 輸出電壓 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 標(biāo)定點(diǎn) | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
| 零點(diǎn)電壓 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零點(diǎn)漂移 | | | | | ||
| +25~-25˚C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85˚C | | | | | ||
| 輸出電壓漂移 | | | | | ||
| Max | | | | | ||
| +25~-25˚C | -4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | +24.0% 讀數(shù) | -5% 讀數(shù) | ||
| +25~+85˚C | +4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | -24.0% 讀數(shù) | +5% 讀數(shù) | ||
| 重復(fù)性& 遲滯Max | ±0.5% 讀數(shù) | ± 1% 讀數(shù) | ±0.5% 讀數(shù) | ±1% 讀數(shù) | ||
| | Min Typ. | Max. | | |||
| 電源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | | |||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | | |||
| 反應(yīng)時(shí)間（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | | |||
| 共模壓力（psi） <, /TD> | | 25 | | | | |
| 工作溫度 | -25~85˚C | | | |||
| 儲(chǔ)存溫度（˚C） | -40~90˚C | | | |||
| 沖擊（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） | | | |||
| 本公司為Honeywell授權(quán)一級(jí)代理商， 氣體質(zhì)量流量傳感器，現(xiàn)貨供應(yīng)，價(jià)格優(yōu)惠 AWM3000系列 AWM3300V AWM3300V AWM3150V AWM40000系列 AWM42150VH AWM43300V AWM43300VH AWM43600V AWM5000系列 AWM5101VN AWM5104VN AWM7000系列 AWM720P1 | |
| 本公司為Honeywell授權(quán)一級(jí)代理商， 氣體質(zhì)量流量傳感器，現(xiàn)貨供應(yīng)，價(jià)格優(yōu)惠 AWM3000系列 AWM3100V AWM3300V AWM3150V AWM40000系列 AWM42150VH AWM43300V AWM43300VH AWM43600V AWM5000系列 AWM5101VN AWM5104VN AWM7000系列 AWM720P1 | |