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天津系列三坐標測量機

系列三坐標測量機

Function系列三坐標測量機是SEREIN思瑞精密一代高性能活動橋式測量機。高穩(wěn)定性的測量系統(tǒng)，能夠快速地完成通用的檢測需要，并大大提高了檢測效率。 1、單邊活動橋式結構，顯著提高運動性能，確保測量精度及穩(wěn)定性。 2、三軸導軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性。 3、三軸導軌均采用自潔式預載荷高精度空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導軌永不受磨損。 4、RENISHAW自粘開放式金屬光柵尺，更接近花崗巖基體的熱膨脹系數，提高了設備的穩(wěn)定性。 5、RENISHAW高速高精度自動控制系統(tǒng)，內嵌32位微處理器，真正實現實時控制；上下位采用光纖通訊，增強了電氣抗干擾能力。 6、功能強大的三坐標測量軟件SEREIN-DMIS，具有簡捷、友好的用戶界面，向導式操作，易學易用，可以進行快速地設定基準、尺寸檢驗、點檢驗、快速產生檢測報告。 7、軟件可選配CAD模塊，具有離線編程和教導式編程功能，程序可重復執(zhí)行，得到更高的生產力，圖文并茂的報表輸出，可觀看、打印、跨平臺傳遞。 8、測量結果可以直接輸出成標準數據文檔（IGES或DXF），支持逆向工程。

技術參數

型號		Function400系列		Function600系列			Function800系列		Function1000系列
型號		F564	F594	F876	F8106	F8156	F10128	F10168	F121510	F122010	F122510	123010
行程(mm)	X軸	500	500	700	800	800	1000	1000	1200	1200	1200	1200
	Y軸	600	900	800	1500	1500	1200	1600	1500	2000	2500	3000
	Z軸	400	400	600	600	600	800	800	1000	1000	1000	1000
主機尺寸 (mm)	L	1370	1670	1800	2000	2500	2370	2770	2820	3320	3820	4320
	W	1050	1050	1350	1450	1450	1700	1700	1980	1980	1980	1980
	H	2240	2240	2650	1650	2650	3150	3150	3500	3500	3500	3500
機臺厚度mm		230		300			360		420		450
承重kg		600	600	800	1000	1200	1500	2000	2000	2000	2000	2000
主機重量kg		850	1200	1200	2500	3500	4500	5500	6500	8500	10500	12500
精度指標		2.8+L/300	3+L/300			3.5+L/300	4+L/300		4.5+L/300		5.5+L/300
系統(tǒng)技術
控制系統(tǒng)		雙計算機式集成控制系統(tǒng)
驅動系統(tǒng)		DC直流伺服電機，齒形帶傳動

瑞士TESA三坐標測量機

a規(guī)格說明：1. 可量測范圍：X:460 mm Y:510 mm Z:420 mm2. 最小顯示讀值:0.001mm/0.00001in 3. 使用材質:Z軸、橋架、軸承、均采用超輕鋁合金材質工作平臺：以花崗巖制成，臺面上有不銹鋼夾具固定鎖孔4. 系統(tǒng)分辨率：0.1μm5. 位移速度:760mm/s6. 重復精度:3μm7. 機臺精度:U1=(0.003+0.003＊L)mm (VDI/VDE)U3=(0.003+0.004＊L)mm L in m8. 工作范圍尺寸:X=600mm, Y=750mm, Z=430mm9. 機臺外觀尺寸:W=970mm, H=1620mm,Z=930mm10. 全機臺重量:198kg(含花崗巖平臺,單獨平臺重量:99kg)11. 運輸包裝總重:250kg12. 運輸包裝外觀尺寸:W=1150mm, H=2200mm, D=1100mm13. 氣源壓力需求:4.8~8.3bars(70~120psi)14. 環(huán)境要求： A. 工作溫度范圍 - 20°C ±1℃B. 相對濕度 - 45 ~ 75%C. 可操作溫度范圍-13℃~35℃ 軟件功能：1. REFLEX操作系統(tǒng)簡化程序架構、容易學且好操作使用。2. 屏幕上幾何圖形的圖標，量測結果快速運算出來。3. 直接量測-不需浪費時間編輯程序，或是浪費時間執(zhí)行工件的軸向補正。4. 量測時自動判別量測的幾何元素。5. 獨特的Zmouse專利設計。6. 高精度且低量測誤差。7. 工件掃描數字輸出可符合CAD的繪圖運用。8. 只要不到一天的教學，使用者就可上機操作

Global系列三坐標測量機

GLOBAL不僅是一臺精確、、快速和值得擁有的測量機，同時還具備另外一個寶貴的品質：靈活性。靈活性能夠解決您的測量需要，并能夠適應您明天的發(fā)展。 GLOBAL測量機強大的功能，為測量尺寸、形狀和位置提供了足夠的靈活性，在節(jié)約資金的同時，提高了檢測效率。GLOBAL有三個系列可供挑選：1.GLOBAL CLASSIC2.GLOBAL PERFORMANCE3.GLOBAL ADVANTAGE每一個系列都提供了特定的技術選項,使得它們能夠根據客戶個性化的需要進行調整,以滿足測量和檢測的需要.功能方面滿足任何需要的能力.掃描與點到點,觸發(fā)與光學測頭,固定與旋轉測座,車間和計量室,GLOBAL能夠全部包容:基于其強大的靈活性和模塊化的結構,GLOBAL能夠通過不同配置滿足您關于尺寸控制的任何需求.

Byes4030CNC小龍門式影像測量儀 CNC全自動影像儀三坐標測量機

加工定制	是	品牌	邦億	型號	Byes4030CNC
分辨率	0.001（mm）	測量行程	400*300（mm）	放大倍率	0.7-4.5
操作方式	程序控制	測量精度	0.005	外形尺寸（長寬高）	1740x1066x1750（mm）

儀器特點：

BYES系列全自動影像測量儀是由我公司最新研發(fā)的小龍門CNC型影像測量儀，采用進口精密配件為提高測量儀工作狀態(tài)時的精確度及穩(wěn)定性提供有力保證！該龍門型影像測量儀主要運用在PCB線路板、覆銅板、平板玻璃、液晶模組、刀模、絕級材料等。

● 高精度大理石基座、橫梁保證極高的穩(wěn)定性及剛性。

● 小龍門移動式架構即工作臺載物玻璃不動，可獲得更高的速度而不影響測量。

● 精密研磨級滾珠螺桿和日本THK精密線性導軌，配日本安川伺服馬達采用雙重閉環(huán)運動控制，具有高速精確的定位以及運動的穩(wěn)定性。

● 配SONY高分辨率彩色攝像機，采用我公司自主研發(fā)的表面冷光源，表面光由獨立四十八組光源組成，每一組均為恒流源驅動，連續(xù)可調，保證高品質的測量畫面。

● 測量系統(tǒng)采用進口開放式英國RENISHAW精密光學尺，分辨率為0.5um。

● 采用我公司開發(fā)的嵌入式模塊控制電機，提高了電機響應速度，還簡化了儀器與PC機的接口，PC機與儀器通過USB線和S端子線連接。

● 自動連續(xù)變倍鏡頭，自動變倍后無需人工重新進行精度校驗。

● 影像導航系統(tǒng)讓你快速定位工件測量位置，大幅提高測量效率。

● 配我公司專用全自動測量軟件Quickmeasuring，可編程自動檢測，大大提高測量效率。

● 可選配英國RENISHAW接觸式探針，并配送Ф1、Ф2探針，搭配QuickMeasuring全自動影像測量軟件，進行三次元測量。

儀器型號		Byes3020CNC	Byes4030CNC	Byes5040CNC
工作臺	運動行程(mm)	300x200x200	400x300x200	500x400x200
	外形尺寸(mm)	866x740x1750	1740x1066x1750	1116x940x1760
	儀器重量(kg)	360	400	520
	承重(kg)	35	35	30
測量精度	XY軸	<=(3+L/200)um
	Z軸	<=(4+L/200)um
光柵尺	進口開放式光柵尺，分辨率0.5um
CCD	SONY彩色攝像機
光學系統(tǒng)	自動變倍鏡頭；可選配激光，可測量透明式玻璃的厚度和平整度
照明系統(tǒng)	連續(xù)可調式LED環(huán)形表面光及輪廓光，根據放大倍率確定最大光強
軟件系統(tǒng)	QuickMeasuring 全自動影像測量軟件
工作環(huán)境	20 ℃ ± 3 ℃，溫度45～75%
電源	220V ± 10% ，50Hz

該公司產品分類：最新高低溫箱平衡儀掃描紫外分光渦流導電儀回彈儀測量儀高精度光珊尺超聲波檢測分析儀自動旋光儀扭力扳手探測儀標式氣動量儀全自動振動時效機鋼筋掃描儀輪廓度測試儀圓柱度儀圓柱度測量儀工作測振儀工頻火花機電子精密天平

出售三坐標測量機

LH測量范圍（mm）

X-Axis	Y-Axis	Z-Axis
500	600/1000	400
650	750/1200	500
800	1000/1500/2000	700
1000	1200/1600/2000/2500	800
1000	1200/1600/2000/2500	1000
1200	1600/2000/2500/3000	1000
1500	2000/2500/3000/4000	1200/1300

該公司產品分類： 1

0三坐標測量機

杭州三坐標測量機*寧波三坐標測量機*溫州三坐標測量機*歐潼供EUTONE三坐標產品憑借全球領先的技術支持及多年測量領域的豐富經驗，在汽車，航空，模具，電子領域得到廣泛應用。依靠強大的技術力量，EUTONE擁有一系列極具競爭力的橋式測量機、懸臂式測量機，龍門式測量機及超高精度測量機等產品，并可根據客戶的特別要求進行度身定制。 EUTONE擁有華東計量測試中心上海計量測試技術研究院頒發(fā)的“三坐標培訓與檢測基地”資質，可為客戶提供一系列與三坐標產品相關的測量、搬遷、改造、升級、培訓等服務。K 系列三坐標測量機優(yōu)點：- 三軸全部采用全新的摩擦式傳動系統(tǒng)- 專利“固定微懸浮”技術，具有自糾偏能力- 摩擦式自我保護能力，防止馬達的過載損壞- 高速度,高價速度和超快反應時間成就卓越性能- 測頭系統(tǒng)逐點或連續(xù)掃描探針和/或測頭交換典型應用：- 機加工件和鈑金件- 檢具模具- 掃描或逆向工程技術指標：- 測量體積范圍： 800x600x600mm到5000x1500x1200mm- 最高空間精度： 1.7 L/350(um)- 最高速度： 50m/min- 最高加速度： 8600 m/min2公司地址：上海市松江區(qū)泗磚南路255弄名企公館33號樓聯系電話：021-6172 0157 服務熱線：400-833-2889公司傳真：021-3352 7085聯系人：劉經理手機：18918979993郵箱：sales@shcmm.com網址：www.shcmm.com

該公司產品分類：歐潼涓夊潗鏍?$nSort=0$r$nparentID=0$r$nps=1$r$nIsShow=$r$nid=$r$nsubmit=鎻愪氦淇濆瓨

DKR西安橋式三坐標測量機

的性價比測量機，提供了最廣泛的適用性

Inspector系列坐標測量機為現代制造企業(yè)提供了通用的檢測方案，實現了方便、快捷、的幾何量計量，不僅能夠及時獲取產品幾何尺寸和公差數據，為高品質的產品制造提供；同時還能夠協助用戶縮短產品的投資回報周期，獲取最大的收益。

Inspector系列測量機，采用機械設計技術和材料工藝，為整機提供了良好的高精度和動態(tài)特性；該機具有多個尺寸系列，行程范圍從最小的400mm × 500mm × 400mm，一直可以延伸到1000mm × 2100mm × 800mm，從而協助不同類型的制造企業(yè)完成多種工業(yè)計量應用，包括首件和最終件檢測、品質檢驗、夾具驗證和過程控制等任務。

基于成熟的技術

輕質量的外罩減少了整機的重量，從而提高了效率。
獲得專利的X 向“精密三角梁”設計增強了整機的剛性質量比，從而提高了測量的精度和運行的穩(wěn)定性。
厚重穩(wěn)固的花崗石工作臺減少了振動帶來的響。
燕尾式導軌整體加工在花崗石平臺上（該技術獲得專利），提高了機器的精度和重復性。
電機遠程放置減少了移動質量，提高了速度，也避免了電機發(fā)熱對機器性能帶來的影響。
獲得專利的氣動平衡設計，提高了機器的測量性能。
采用的高分辨率金質光柵尺，其熱膨脹系數獲得PTB認證。
控制器固定在主機一側，便于整體的移動。

該公司產品分類：金相顯微鏡萬工顯測長儀試驗機測厚儀測高儀二次元硬度計三坐標粗糙度輪廓儀圓柱度儀圓度儀

SRN654廠家直銷三坐標測量機三次元測量儀高精密

產品簡介:

主機概述Description of the basic machine：

CNC系列三坐標測量機是鑫瑞儀器最新一代三坐標測量機，采用國際先進的有限元分析方法設計的精密斜梁技術（已獲專利），設計上采用剛性好、質量輕的全封閉框架移動橋式結構。配以國際知名品牌高性能三坐標專用控制系統(tǒng)及具有國際先進水平的具有自主知識產權的DMIS6.0測量軟件包，使其成為同類機型中性價比相當高的產品，其將滿足您的需求，為您提供一個完善的測量解決方案。

CNC is new-generated CNC CMM with a mature ａnd word-class technology under mass production at shinrein . This machine has adopted precision slant girder technology (Patented) designed by advanced F.E.M. (finite element method), which has the high precision, high performance ａnd high steady characteristics. The machine’s perfect style, strong rigidity, lightweight ａnd close frame movable bridge structure, which configured with the world famous high-quality specific 3-D CMM control system ａnd the world highest level self-owned intellectual property of DMIS6.0 software, makes it become the highly appreciated product by comparing with its competitive price ａnd high practical quality. It will meet customer’s challenging demand with a comprehensive measurement solution.

產品規(guī)格：主機介紹Introduction of Basic Machine：

01：機型名稱：CNC654 三坐標測量機

Model Name：CNC654 Coordinate Measuring Machine

02：測量范圍Measuring range：500㎜×600㎜×400㎜

03：最大載荷Load capacity：2000kg性能特點：

CNC系列測量機采用國際先進的有限元分析設計方法，使其具有機械結構剛性強、幾何誤差小，具有高精度、高性能和高穩(wěn)定性的優(yōu)點。

Adoption of advanced F.E.M. (finite element method) makes it have a strong rigidity, small geometry error, high precision, high performance ａnd high stability.

機械整體結構采用剛性結構好、質量輕的全封閉框架移動橋式結構。其結構簡單、緊湊、承載能力大、運動性能好。

The mechanical overall structure adopts strong rigidity, light weight ａnd close frame movable bridge structure, which is simple, compact ａnd has strong loaded capacity ａnd good moving performance

固定優(yōu)質花崗巖工作臺，使其具有承載能力強、裝卸空間寬闊、便捷。

Granite fixed workable ensures strong heavy load, expanse ａnd simplicity for assembly ａnd unassembly.

Y向導軌采用燕尾式，定位精度高，穩(wěn)定性能好。

Y axis guideway adopts dove tail type, which has high precision ａnd good stability.

三軸采用優(yōu)質花崗巖，熱膨脹系數小，三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實效變形能力，剛性好、動態(tài)幾何誤差變形小。

Three axis’s adoption of quality granite guarantees small coefficient in thermal expansion ａnd uniform temperature specialty so that it serves to excellent stability in temperature, good anti-transmogrification, strong rigidity ａnd small geometrical error in motion.

三軸均采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導軌，軸承跨距大，抗角擺能力強，阻力小、無磨損、運動更平穩(wěn)。

Three axis’s adoption of quiescent air pressure air-bearing guide way, comprised of air bearings which are self-cleaning, pre-loading ａnd high precision, guarantees the large span of bearings, strong anti-sways, small resistance, no abrasion ａnd stable motion

橫梁采用精密斜梁設計技術（已獲專利），重量輕、重心低、剛性強，動態(tài)誤差小，確保了機器的穩(wěn)定。

Crossbeam’s adoption of precise designing technology of inclined girder (patent) guarantees the machine’s lightweight, low center of gravity, strong rigidity ａnd small error in motion so that the stability of the machine is strengthened.

采用國外進口反射式金屬帶狀光柵計量系統(tǒng)，與大多數工件具有相近的熱膨脹系數，確保了良好的重復精度。

Adoption of world famous reflecting metal tape measuring scale system, which has a close thermal expansion coefficient with most work piece ａnd assure a good repeatability.

驅動系統(tǒng)采用國際知名品牌的高性能直流伺服電機、齒形帶傳動裝置，確保傳動更快捷、更精準、運動性能更佳。

Drive system adopts world famous high performance DC servo drive system ａnd dentiform tape gearing, which guarantee the drive’s fastness, precision ａnd perfect movement.

Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。

Z-axis adopts cylinder equilibrator system, which improves orientation precision ａnd stability greatly for Z axis.

控制系統(tǒng)采用歐洲知名坐標測量機專用數控系統(tǒng)，具有國際先進的上下位機式的雙計算機系統(tǒng)，從而極大地提高系統(tǒng)的可靠性和抗干擾能力，降低了維護成本。

Control system adopts well-known exclusive Europe Internationally advanced up-down dual computers control system, which improves the system’s reliability ａnd anti-jamming capacity greatly.

軟件采用具有獨立知識產權的、功能強大的DMIS6.0測量軟件包，其完善的測量功能和聯機功能，為用戶提供了完美的測量解決方案。

Software adopts self-owned intellectual property ａnd strong function DMIS6.0 software. With its perfect measuring ａnd online function, it will meet customer’s challenging demand with a comprehensive measurement solution.

三坐標測量機專用CNC數控，采用上、下位機式雙計算機控制的先進理念，利用控制層和應用層獨立運行的原理，使三坐標測量機（CMM）在高效率、高精度和高穩(wěn)定性等方面極大地滿足了用戶的需求。

CMM’s special CNC control adopts the advanced up-down dual computers control concept ａnd using the Control layer ａnd application layer stand-alone principle to largely satisfy the customers base it’s high efficiency、high-accuracy and high stability.控制單元、伺服單元、接口板和CPU主板整合在一個緊湊的機箱內，集成度高，減少了控制系統(tǒng)的外部連線，保證了系統(tǒng)的可靠穩(wěn)定性。Control unit、servo unit、interface board ａnd CPU main board integrated into the compact housing to ensure the reliability ａnd stability of the system by reducing the external line of the control system..

對拐點等多種運動軌跡的優(yōu)化處理可以使機器的運動性能速度更快、狀態(tài)更穩(wěn)、效率更高，實現可飛行軌跡運動。The optimization and management of movement trajectories, such as inflection point, can make the machine with faster speed、more steady condition、higher efficiency ａnd flying trajectory movement.

內部采用連續(xù)運動軌跡插補算法，可進行測量軌跡的優(yōu)化整合，在多點連續(xù)運動的路徑規(guī)劃上，既可以沿直線路徑運行，也可以沿圓弧路徑運行，為程序的編寫提供了多種選擇方式。Internal advanced continuous trajectory interpolation algorithm can be measured trajectory optimization ａnd integration. In the multi-point continuous movement path planning, both can running along the straight path and the circular path. To provide variety options for programming.

控制系統(tǒng)所具有的觸發(fā)式測頭模擬掃描測頭測量的掃描功能采點效率高，依此可以實現對未知曲線、曲面的跟蹤掃描測量，方便完成逆向工程時曲面點的采集。Touch-trigger probe, which intimates the high point-picking efficiency of scan function, can realize tracking scan measurement of unknown curve ａnd accomplish curve point-picking of backward engineering.

控制系統(tǒng)采用多種控制模式，提供多種安全保障功能，更加安全可靠，當系統(tǒng)判斷意外發(fā)生時，則能夠在極短時間內切換到相應的安全模式，并具有故障自診斷糾錯功能。The variety controlling modes ａnd safeguard functions make control system safer ａnd more reliable. The system can change to the safe mode within a short time when accident happens, ａnd it has fault self-diagnosis and error correction function.

配備專業(yè)化多功能操縱盒，有無線操縱盒和有線操縱盒可供選擇，人性化設計的操縱盒為用戶提供了布置合理的操作桿和按鈕面板，既有階躍式速度控制，又有無級式速度控制，使機器控制更加簡捷。同時具有根據操作者相對機器不同位置進行操作方向設置的功能，使設備的操作更方便、順暢。Professional wireless controlling box ａnd wire controlling box for option, man-kindly design controlling box provides the joy sticker ａnd button board with reasonable layout for uses. Both step speed control ａnd stepless speed control to make the machine operate easily. In the meanwhile, it can change the operating direction according to the different position between operator ａnd machine to make the device operate more convenient and smooth.

驅動系統(tǒng)采用直流伺服電機驅動，可使電機根據不同要求按照T曲線速度或S曲線速度運動，確保機器運動狀態(tài)最大程度保持平穩(wěn)。Driving system adopts DC servo motor driving can make the motor move according to T- curve speed or S-curve speed., ensure the machine move in a steady condition maximum.

具有內部溫度監(jiān)控系統(tǒng)，避免因欠壓、欠流等情況下導致控制系統(tǒng)損壞。Internal temperature monitoring system can avoid the control system being damaged from pressure or airstream shortage.

多種備選插口，滿足特殊設備及功能擴展的需求。ariety optional interface can meet the needs of special devices ａnd functions extension.

配有位置信息高速鎖存的硬件捕捉器，使測量機取點精度更高，采點速度更快。With location information high-speed latch hardware capture device ensure the CMM points catching in higher precision ａnd faster speed.

附帶TCP/IP,RS232/RS422等多種接口方式，便于與計算機聯網以及其它外設的聯接。TCP/IP ａnd RS232/RS422 interface to achieve the PC networking ａnd other device connection.

支持觸發(fā)式、線激光掃描式、光學CCD等多種測頭系統(tǒng)，包括RENISHAW全系列測頭連接系統(tǒng)和多家公司的不同型號的測頭產品。并可方便實現諸如環(huán)形頂光源邏輯電路的控制。Support of multiple probe systems include touch-trigger probe, scanning probe, optical CCD probe, full series connected system of RENISHAW probe and other models probe of other companies, easy to achieve the logic circuit controlling such as top light source logic circuit.

整個控制系統(tǒng)符合歐洲電氣安全標準。

The whole control system is in conformity with European EC standard.

應用領域

合作單位見證客戶名錄：――致2016年元月份，本司累計客戶量達10000個忠實用戶！

該公司產品分類： SVM系列三維掃描儀三坐標測量機+影像測量 WEALTH系列翹曲度高度平面度測量儀一鍵式測量儀龍門二次元影像測量儀自動二次元影像測量儀手動二次元影像測量儀龍門三坐標測量機手動三坐標測量機自動三坐標測量機在線視覺測量儀三坐標測量儀影像測量儀

Enjoy系列寧波地區(qū)供應橋式三坐標測量機


MODEL 型號	STROKES			OVERALL SIZE			WORK ENVELOPE			WEIGHT 主機凈重	PART WEIGHT 被測工件最大重量
	行程范圍			主機輪廓尺寸			允許工件尺寸
	X	Y	Z	Lx	Ly	Lz	Wx	Wy	Wz
	mm	mm	mm	mm	mm	Mm	mm	mm	mm	kg	kg
454	400	500	400	1200	1650	2500	700	800	600	1750	400
564	500	600	400	1300	1750	2500	800	900	600	1850	400
674	600	700	400	1400	1850	2500	900	1000	600	1950	500
684	600	800	400	1400	1950	2500	900	1100	600	2000	500
6104	600	1000	400	1400	2150	2500	900	1300	600	2200	600
675	600	700	500	1400	1850	2700	900	1000	700	2050	500
685	600	800	500	1400	1950	2700	900	1100	700	2100	500
6105	600	1000	500	1400	2150	2700	900	1300	700	2300	600
775	700	700	500	1500	1850	2700	1000	1000	700	2500	700
785	700	800	500	1500	1950	2700	1000	1100	700	2650	700
7105	700	1000	500	1500	2150	2700	1000	1300	700	3050	800
8106	800	1000	600	1600	2150	2900	1100	1300	800	3250	1000
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7107	700	1000	700	1500	2150	3100	1000	1300	900	3100	1000
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10128	1000	1200	800	1800	2350	3300	1300	1500	1000	3800	1200
9158	900	1500	800	1700	2650	3300	1200	1800	1000	4800	1200
10158	1000	1500	800	1800	2650	3300	1300	1800	1000	5500	1200
9258	900	2500	800	1700	3650	3300	1200	3000	1000	6400	1200
MEASURING ACCURACY精度指標					MPEE （µm）			2.0+3.0L/1000-2.9+4.0L/1000
MEASURING ACCURACY精度指標					MPEP （µm）			2.5-3.5

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