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缺陷分析－超聲波掃描顯微鏡（ＳＡＭ）

聲學(xué)顯微鏡，學(xué)名是：掃描聲學(xué)顯微鏡Scanning Acoustic Microscope，簡稱SAM。它是基于聲波脈沖反射和透射原理工作的，只要聲波信號在樣品表面或者內(nèi)部遇到聲波阻抗（如遇到孔隙、氣泡等），就會發(fā)生反射。

SAM主要用于材料淺表層結(jié)構(gòu)分析、材料力學(xué)性能的檢測、無損檢測等。

A、雜質(zhì)顆粒、夾雜物、沉淀物等

B、裂紋

C、分層缺陷、附著物以及其他夾雜物

D、空洞、氣泡、空隙等

SAM與X-RAY的主要區(qū)別

	SAM	X-RAY
成像模式	反射模式和穿透模式	穿透模式
原理	聲波脈沖反射和透射	基于材料密度的差異
材料的穿透性	密集和疏松的固體都能	金屬材料穿透較差
對空氣的敏感性	空氣能阻斷超聲波傳輸，確定焊接層、粘接層、填充層、涂鍍層、結(jié)合層的完整是SAM獨特的性能	對空氣不是非常敏感，裂紋虛焊等不能被觀測到
材料的無損性	使用于MHz超聲波，不會產(chǎn)生氣穴，完全無損	較長時間檢測，可能會產(chǎn)生損壞和隨機的電子錯誤
所得圖像	可以分層展現(xiàn)材料內(nèi)部一層一層的圖像	整個樣品厚度的一個合成圖像

儀器簡介：德國KSI-SAM

一、1990年，世界上第一個做出頻率超過GHz的超1990年，世界上第一個做出頻率超過GHz的超聲波掃描顯微鏡，到目前為

止，其他同類儀器公司只能做到200MHz 左右；

二，1991年，世界上第一個在超聲波顯微鏡中做出GHz V（z）, V（f）定量測量系統(tǒng)；

三，1996年，推出世界上第一臺數(shù)字超聲波顯微鏡；

四，1998年，世界上第一個做出帶有球面透鏡的超聲波換能器；

五，2002年，世界上第一個在超聲波顯微鏡上實現(xiàn)材料阻抗測量；

六，2004年，世界上第一個在超聲波顯微鏡掃描控制平臺中采用空氣墊懸浮線性馬達驅(qū)動的超高精度X-Y掃描系統(tǒng)；

七，2004年，世界上第一個實現(xiàn)超聲波顯微鏡自動對焦系統(tǒng)，并受到專利保護；

八，2004年，世界上第一個實現(xiàn)多探頭同時掃描大件樣品的超聲波顯微鏡系統(tǒng)，并受到專利保護。

該公司產(chǎn)品分類：表面微區(qū)分析應(yīng)力分析缺陷分析形貌分析結(jié)構(gòu)分析成分分析元素分析

VEGA 3 Easyprobe掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡

掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡

廣州高測儀器有限公司專業(yè)代理泰思肯（美國）品牌的掃描電子顯微鏡（簡稱電鏡），我們做的產(chǎn)品類別有：場發(fā)射掃描電鏡，鎢燈絲掃描電鏡，大樣品室掃描電鏡，超級聚焦離子束掃描電鏡，場發(fā)射電子顯微鏡，鎢燈絲掃描電子顯微鏡，離子束電子顯微鏡，透射顯微鏡，透射電鏡，透射掃描電鏡，礦物分析掃描電鏡，掃描電鏡（SEM）,有拉曼式生物顯微鏡，我們還有各種齊全的電鏡耗材，歡迎大家前來咨詢！

泰思肯（美國）品牌是目前最先進的電鏡廠家，我們都是原裝進口的產(chǎn)品，能很好幫助用戶解決所需問題，不但口碑好，還是質(zhì)量好，高效節(jié)能，操作方便。

掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡掃描電鏡能譜一體機儀器簡介：

VEGA 3 EasyProbe可分為高真空型和可變真空型，其運用的領(lǐng)域非常廣泛，適合各類高等院校或公司選擇。EasyProbe是SEM/EDS一體化機型，實現(xiàn)了One-Touch式的操作，使得操作非常簡單，甚至沒有經(jīng)驗的人員也可以在一天內(nèi)學(xué)會操作。此外，EasyProbe可以說是性價比最高的一款SEM/EDS一體機，軟件配置完整，硬件延續(xù)原有的VEGA并得到進一步發(fā)展，是值得信賴的一款SEM/EDS一體機。

掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡掃描電鏡能譜一體機主要特點： VEGA 3 Easyprobe是一款掃描電鏡和能譜一體化操作的設(shè)備，設(shè)備可以觸摸屏進行控制和操作，具有所有圖像操作和處理功能以及一鍵式EDX分析工具欄。當(dāng)一鍵式EDX工具被激活時，系統(tǒng)顯示實時SEM圖片上選定區(qū)域的定量分析結(jié)果。

系統(tǒng)根據(jù)用戶的技能水平可分為3個等級對電鏡進行控制。電鏡的所有功能都由觸摸屏或鍵盤，鼠標(biāo)和軌跡球或者選配的控制臺通過Window™平臺上的VegaTC軟件控制。

相關(guān)儀器：

美國賽默飛世爾（Thermo Fisher）-尼通：手持式X射線光譜儀

德國斯派克（Spectro）：直讀光譜儀、便攜式直讀光譜儀

捷克泰思肯：掃描電鏡，熱場發(fā)射掃描電鏡，鎢燈比電子顯微鏡，超大樣品室掃描電鏡，等離子束掃描電鏡

日本島津（Shimadzu）：EDX Rohs專用熒光光譜儀、X射線熒光光譜儀、X射線衍射儀（XRD）、工業(yè)CT、X射線探傷儀

美國PE珀金埃爾默公司（Perkin Elmer）：等離子體發(fā)射光譜儀（ICP）、原子吸收光譜儀、帶捕集阱頂空進樣器、熱脫附

美國利曼公司（Leeman Labs）：自動測汞儀、自動液體測汞儀、自動固體測汞儀

日本日立（Hitachi）：X射線熒光測厚儀

意大利GNR：全反射X射線熒光光譜儀、殘余應(yīng)力檢測儀、殘余奧氏體檢測儀

該公司產(chǎn)品分類：紅外光譜儀 X射線衍射儀全自動測汞儀掃描電鏡耗材掃描電鏡直讀光譜儀手持式光譜儀

KYKY-EM6900電子掃描顯微鏡KYKY-EM6900

KYKY-EM6900掃描電鏡主要參數(shù)

1.電子光學(xué)系統(tǒng)

（1）電子槍：發(fā)叉結(jié)構(gòu)鎢絲陰極；

（2）分辨率：二次電子像分辨率優(yōu)于 3.0nm（30KV）；

（3）放大倍率：8×～300,000×；

（4）加速電壓：0 V～30kV，連續(xù)可調(diào)；

（5）自動功能包括：自動電子槍加熱、自動對中、自動加束流、自動加偏壓、自動聚焦&消像散、自動象散記憶、自動對比度、自動亮度，實現(xiàn)一鍵看像功能，自動故障檢測、自動校正等；

2.樣品室和樣品臺

（1）樣品臺：五軸高精密樣品臺。

X移動方向不低于80mm，Y軸移動方向不低于60mm，Z軸移動方向不低于50mm，傾斜范圍為-5°～ +90° ，旋轉(zhuǎn)方向為 360°；

（2）可放置最大樣品尺寸：直徑110mm；

3.真空系統(tǒng)

渦輪分子泵和機械泵，可保持設(shè)備長期的高分辨；

KYKY-EM6900 SEM major parameters

1.electron-optical system

（1）electron gun ：Hair fork structure tungsten cathode；

（2）Resolution： Secondary electron as resolution better than 3.0nm（30KV）；

（3）Magnification：8×～300,000×；

（4）Acceleration voltage：0 V～30kV，continuously adjustable；

（5）automatic function include ：Automatic heat gun、automatic centering、automatic beam 、automatic bias、automatic focus &stigmatic、Astigmatic memory automatically、Auto Contrast 、Auto Brightness ，achieve a key to look at the view ，Automatic Fault Detection、Automatic correction etc.

2.Sample room ａnd samples

（1）stage：Five-axis high precision samples stage 。

Not less than 80 mm X direction，Not less than 60 mm Y direction，Not less than 50 mm Z direction，Tilt Margin -5°～ +90° ，direction of rotation 360°；

（2）Can place the largest sample size：diameter 110mm；

3.Vacuum system

Turbo molecular pump ａnd mechanical pump，Can keep the equipment of high resolution for a long time；

該公司產(chǎn)品分類： Itaca三坐標(biāo) 三維激光掃描儀掃描電子顯微鏡 RAM 系列 OGP系列 CCP系列 View 系列

廠家直供專業(yè)掃描顯微鏡，西藏自治區(qū)掃描顯微鏡貨源

科視達自成立起一直專注C-SAMx3c198an、德國PVA顯微鏡等產(chǎn)品生產(chǎn)，公司擁有多條超聲波掃描顯微鏡、超聲掃描檢測生產(chǎn)線，目前已成為超聲掃描顯微鏡行業(yè)整套解決方案服務(wù)商。

超聲掃描顯微鏡產(chǎn)品基本資料如下：產(chǎn)品名稱：掃描顯微鏡；品牌商標(biāo)：科視達；價格：1；售后服務(wù)：優(yōu)質(zhì)；德國PVA顯微鏡產(chǎn)品詳細說明：超聲波掃描顯微鏡的工作原理、基本工作流程及主要用途超聲波掃描顯微鏡工作原理：超聲波是一種機械波，其傳播方式是通過介質(zhì)中的分子振動來傳遞的，因此超聲波對于分子被測材料有密切的關(guān)系，材料的密度越大，超聲波傳播的速度越高，反之，材料的密度越小，聲波的傳播速度越低。因此超聲波檢測用被廣泛用于電子元器件和材料的質(zhì)量控制與檢測，實現(xiàn)非破壞性的無損檢測。儀器使用時將帶有聚焦功能的高頻超聲波換能器安裝在掃描控制系統(tǒng)上，在軟件界面，選用不同掃描模式，通過逐點掃描的方式，檢測材料內(nèi)部，經(jīng)過超聲發(fā)射，（DPR 信號發(fā)生器接收及ADC卡電子信號采集與處理，從而在工控機屏幕上形成一個試件內(nèi)部結(jié)構(gòu)的顯微圖像。再通過控制系統(tǒng)，放大顯微成像后傳輸?shù)斤@視器，從而觀察材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的情況，挑選出內(nèi)部有缺陷的試件。超聲波掃描顯微鏡基本工作流程：1）將被測試件放入工作水槽內(nèi)；2）將帶有聚焦功能的高頻超聲波換能器安裝在掃描控制系統(tǒng)上，在軟件界面，選用不同掃描模式，通過逐點掃描的方式，檢測材料內(nèi)部，經(jīng)過超聲發(fā)射，接收及電子信號處理，從而形成一個試件內(nèi)部結(jié)構(gòu)的顯微圖像，目前最高分辨率可大到微米級。3）通過接受內(nèi)部波形的門限選擇，像CT一樣，對被測試件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進行斷層掃描；4）通過高性能的專用工控機的大屏幕顯示器顯示出每一層測試結(jié)果的顯微圖像，從而挑選出內(nèi)部有缺陷的試件；5）針對不同被測試件，更換不同頻率和焦距的換能器進行測試超聲波掃描顯微鏡主要功能：可檢測并分析元器件和材料內(nèi)部是否有裂紋，空洞，氣泡，夾雜物，附著物，分層缺陷等。對X-ray，電鏡不能分辨的裂紋及封裝技術(shù)研發(fā)過程中粘接層、填充層、涂鍍層、結(jié)合層通過無損掃描進行分析。

科視達在全國建有強大的德國PVA顯微鏡、售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，多名技術(shù)顧問及售后工程師遍及全國各地區(qū)，能為用戶提供優(yōu)質(zhì)、高效的服務(wù)保證�？埔曔_德國PVA顯微鏡經(jīng)多年市場驗證，提供從報價到售后服務(wù)全程跟蹤的一條龍服務(wù)，求購服務(wù)周到的德國PVA顯微鏡、，選擇科視達，歡迎訪問：www.questar.com.cn。

該公司產(chǎn)品分類：掃描顯微鏡

V400德國KSI 超聲波掃描顯微鏡

德國KSI（中國）服務(wù)中心

德國KSI 硅片鍵合缺陷檢測系統(tǒng) / IGBT模組缺陷檢測系統(tǒng) 咨詢電話：021-3467 3715

德國KSI公司的中國服務(wù)中心超聲波掃描顯微鏡，英文是：Scanning Acoustic Microscope，簡稱SAM，由于它的主要工作模式是C模式，因此也簡稱：C-SAM�，F(xiàn)在做失效分析的第三方實驗室里，這個設(shè)備直接被通稱為C-SAM，就像X射線透射機被通稱為X-Ray一樣。

上個世紀(jì)的90年代中，微電子器件的大規(guī)模生產(chǎn)制程中，發(fā)現(xiàn)IC的Die上下表面脫層，錫球/芯片裂縫、或填膠中的裂縫、封裝材料（很多塑封材料）內(nèi)部的氣孔等缺陷，無法用常規(guī)的X-ray失效分析手段檢測到，此時，一種新型的測試技術(shù)被引入到芯片的后封裝測試領(lǐng)域，它就是超聲波掃描顯微鏡。說是顯微鏡，其實它與常規(guī)的光學(xué)顯微鏡兩者沒有任何關(guān)系，只是因為這個設(shè)備最早是由國外廠家先行研發(fā)并投入到生產(chǎn)領(lǐng)域，這個名字也是直接從外文直譯過來，因此中文嚴格可以稱為：中高頻超聲波無損檢測系統(tǒng)，或許更為合適。

工作原理

換能器負責(zé)將電磁脈沖轉(zhuǎn)換成聲脈沖，離開換能器后，聲波被聲透鏡通過耦合介質(zhì)（一般是去離子水或無水酒精等）聚焦在樣品上。耦合介質(zhì)是為了防止超聲波信號快速衰減，因為超聲波信號在一些稀疏介質(zhì)中傳播是，會快速衰減。樣品置于耦合介質(zhì)中，只要聲波信號在樣品表面或者內(nèi)部遇到聲波阻抗介面（如遇到孔隙、氣泡、裂紋等），就會發(fā)生反射。

另一種工作模式叫透射模式。透射掃描時，樣品下方要安裝另外一只換能器，這只換能器會接收所有完全穿透樣品的超聲波信號。根據(jù)接收的信號就能還原出各種超聲波C掃圖像。

在失效分析中的應(yīng)用

晶圓面處分層缺陷
錫球、晶圓、或填膠中的開裂
晶圓的傾斜
各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

在失效分析中的優(yōu)勢

非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)
可分層掃描、多層掃描
實施、直觀的圖像及分析
缺陷的測量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計
可顯示材料內(nèi)部的三維圖像
對人體是沒有傷害的
可檢測各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等）

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體電子行業(yè)：半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
材料行業(yè)：復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等；
生物醫(yī)學(xué)：活體細胞動態(tài)研究、骨骼、血管的研究等.

該公司產(chǎn)品分類：超聲波掃描顯微鏡

缺陷分析－超聲波掃描顯微鏡（ＳＡＭ）

VEGA 3 Easyprobe掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡

KYKY-EM6900電子掃描顯微鏡KYKY-EM6900

廠家直供專業(yè)掃描顯微鏡，西藏自治區(qū)掃描顯微鏡貨源

V400德國KSI 超聲波掃描顯微鏡

VEGA 3 Easyprobe掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡

廠家直供專業(yè)掃描顯微鏡，西藏自治區(qū)掃描顯微鏡貨源