M3100氣體質(zhì)量流量控制器M3100

           1. 用途及特點(diǎn)

        氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡(jiǎn)稱MFC )能夠在較大的量程

        范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

        氣體質(zhì)量流量計(jì)( Mass Flow Meter 簡(jiǎn)稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)

        對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。

        它們?cè)谑I(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和

        真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括:電子工藝

        設(shè)備,如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、;以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

        Line-Tech Ltd.于對(duì)產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對(duì)M 系列氣

        體質(zhì)量流量控制器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)進(jìn)行了的技術(shù)改造,

        在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。

        M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重

        復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下

        工作),其操作使用方便,可任意位置安裝調(diào)試,并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自

        動(dòng)控制。

        M3100V M3100A 型 氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)性能指標(biāo)

        1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters(公升)

        sccm : s = standard cc = cm 3 次方 m = minute(分

        slpm : s = standard l = liter p = per m = minute(分

        項(xiàng) 目 M31000V M3100A

        1 流量規(guī)格(N2: 25slpm 120slpm

        (本公司可以為客戶在25slpm 120slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標(biāo)定)

        2 :±1% F.S Full Scale

        3 重復(fù)精度 :±0.25 % F.S Full Scale

        4 響應(yīng)時(shí)間 :3sec ( 特別要求::1sec )

        5 耐壓 : 95 bar

        6 工作環(huán)境溫度 :5 ~ 65

        7 輸入輸出信號(hào): 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

        8 電源 :±15Vdc, 350mA

         

        氣路接頭形式

        可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型:

        a.. 1/8Compress

        b. 1/4Compress

        c. 3/8Compress

        d. 1/4VCR

        e. 1/4VCO

        13917099687  范先生

        CMQ日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ

        型號(hào) 日本山武(YAMATAKE) 日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ        數(shù)量 大量庫(kù)存        產(chǎn)品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器,使用山武公司獨(dú)有的感熱式微流量傳感器和高精度的比例閥,具有響應(yīng)快、精度高、控制范圍寬等特點(diǎn),能滿足多種工業(yè)控制要求。        基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范圍 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min適用氣體 氮?dú)、空氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、城市煤?3A(LNG)、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100%                                       控制范圍 1--100%FS                                                                                                              響應(yīng)速度 0.5秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS                                                          1秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS                     閥門輸出更新周期 10ms                                                                                                                  精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS標(biāo)準(zhǔn)差壓 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差壓范圍 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐壓 980KPa                                                                                                                 設(shè)定方法 1、鍵盤操作  2、外部設(shè)定電壓輸入  3、通訊                                                                                  設(shè)定輸入電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC (通過(guò)組態(tài)設(shè)定和外部開(kāi)關(guān)輸入選擇)                                                                   輸出電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC (通過(guò)組態(tài)設(shè)定和外部開(kāi)關(guān)輸入選擇)                                                                         輸出點(diǎn)數(shù) 報(bào)警輸出:1點(diǎn) ; 事件輸出:2點(diǎn)                                                                                         外部開(kāi)關(guān)輸入 外部3位開(kāi)關(guān)輸入(OPEN/GND/5V):1點(diǎn) ;外部節(jié)電輸入(2位開(kāi)關(guān)):3點(diǎn)                                                       安裝方式 水平安裝,顯示部不可向下                                                                                                 電源 DC15--24V  消耗電流:300mA  max                                                DC24V / 400mA max    DC24V/500mA重量 約1.2Kg                                                                      約3.5Kg                        

        D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器MFC

        上海洪柯自動(dòng)化儀表公司推出的D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller)/氣體質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Metre)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽(yáng)能、分析儀器、光電、制氣、醫(yī)療、電力、化工等各個(gè)領(lǐng)域。產(chǎn)品具有精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、性價(jià)比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。

        流量規(guī)格(N2):

        (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM;(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM

        準(zhǔn)確度:

        ±1%F.S.

        線性:

        ±0.5%F.S.

        重復(fù)精度:

        ±0.2%F.S.

        響應(yīng)時(shí)間:

        ≤1Sec

        工作壓差范圍:

        (0.05~0.3)MPa

        最大耐壓:

        10MPa

        工作環(huán)境溫度:

        5~65℃

        電氣連接:

        8 Pin(Mini S Plug)

        輸入/輸出信號(hào)

        Digital:RS232/RS485;

        Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA

        電源:

        7~16VDC 1A;或24VDC500mA

        標(biāo)準(zhǔn)接頭:

        Swagelokφ3,φ6,φ10…;Swagelok 1/8″,1/4″…;

        VCRφ3,φ6…;VCR 1/8″,1/4″…

        外形尺寸

        130*28*121mm

        重量約

        1.0kg

         

         
        該公司產(chǎn)品分類: 智能橢圓齒輪流量計(jì) 楔形流量計(jì) 科氏力質(zhì)量流量計(jì) 智能電磁流量計(jì) 液壓油專用渦輪流量計(jì) 智能渦輪流量計(jì) 液體超聲波流量計(jì) 特殊玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) 金屬管浮子流量計(jì) 一體化孔板流量計(jì) 智能渦街流量計(jì) 智能旋進(jìn)漩渦流量計(jì) 便攜式氣體容積式流量計(jì) 電子皂膜流量計(jì) 便攜式氣體質(zhì)量流量計(jì) 低壓氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) oval橢圓齒輪流量計(jì) 氣體超聲波流量計(jì)

        ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器

        氣體質(zhì)量流量控制器

         

        產(chǎn)品特點(diǎn):1.          滿量程從0.5(s)ccm1500(s)lpm2.          響應(yīng)時(shí)間10ms3.          量程比優(yōu)于10014.          精度±0.8%讀數(shù)±0.2%fs(可選±0.4%讀   讀數(shù)±0.2%fs)5.          lcd大屏幕,動(dòng)態(tài)數(shù)字同時(shí)顯示質(zhì)量流量、 量、體積流量、溫度和絕壓6.          rs-232或模擬信號(hào)輸出7.          安裝位置不敏感8.    現(xiàn)場(chǎng)可選30種校驗(yàn)氣體 

        差壓原理與熱式原理對(duì)照表

        alicat差壓原理和熱式原理的對(duì)照表

        指 標(biāo)alicat層流差壓式原理典型熱式原理
        傳感器固態(tài)硅基差壓傳感器rtd或熱電偶
        流量范圍滿量程從0.5sccm到1500slpm 滿量程從3sccm到1000slpm
        響應(yīng)時(shí)間10毫秒(控制器100 毫秒) 0.3-3.0秒
        顯示屏 標(biāo)準(zhǔn),內(nèi)置可選項(xiàng),外部裝配
        預(yù)熱時(shí)間<1秒 8-30分鐘
        累計(jì)流量可選項(xiàng),內(nèi)置 可選項(xiàng),外部裝配
        過(guò)程數(shù)據(jù)內(nèi)置顯示屏顯示質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對(duì)壓力質(zhì)量流量
        輸出選項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置顯示屏,模擬信號(hào)(0-5vdc,0-10vdc,1-5vdc或4-20ma)和標(biāo)準(zhǔn)rs232接口; 可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對(duì)壓力 標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出,可選顯示屏,可選數(shù)字輸出
        數(shù)字輸出標(biāo)準(zhǔn)輸出包括質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對(duì)壓力、測(cè)量氣體;可選累計(jì)流量;標(biāo)準(zhǔn)multi-dr-op rs232接口可選質(zhì)量流量數(shù)字輸出;無(wú)multi-dr-op選項(xiàng)
        供應(yīng)電源7-30vdc,35ma的標(biāo)準(zhǔn)ac/dc轉(zhuǎn)換電源; 可使用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的9v電池包供電 特殊供應(yīng)電源,正和負(fù)的穩(wěn)定15vdc
        過(guò)程連接標(biāo)準(zhǔn)的npt或小巧的氣動(dòng)配件,可選sae,bspp等接頭 特制swagelok?、vcr等
        多種氣體測(cè)量性 可從內(nèi)置菜單選擇30種標(biāo)準(zhǔn)氣體 單一氣體,需指定
        固有線性無(wú)
        文件 內(nèi)置顯示屏顯示型號(hào)數(shù)、連續(xù)號(hào)數(shù)、制造日期、校驗(yàn)技術(shù)員和軟件版本、型號(hào)/連續(xù)號(hào),簽條也同樣為標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品的貼紙上

        產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

        alicat氣體質(zhì)量流量計(jì)利用兩個(gè)已研究透徹的氣體物理屬性:壓力和粘性來(lái)測(cè)量流量。通過(guò)層狀流量單元的差壓測(cè)量來(lái)計(jì)算流量,這種測(cè)量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來(lái)測(cè)量并補(bǔ)償氣體的壓力、溫度,測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(如1個(gè)大氣壓@25)下氣體的體積流量。可測(cè)量4種參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓,可選累計(jì)流量,并且可以通過(guò)動(dòng)態(tài)顯示屏同時(shí)顯示?蛇x電池使得該款產(chǎn)品方便攜帶,常用于測(cè)試和校準(zhǔn)工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。    alicat氣體體積流量計(jì)采用差壓傳感器來(lái)測(cè)量當(dāng)前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒(méi)有內(nèi)置絕壓和溫度傳感器,價(jià)格會(huì)便宜一些,是相對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)的另一種選擇。本地顯示:    alicat所有產(chǎn)品均提供本地顯示標(biāo)準(zhǔn)功能(無(wú)顯示產(chǎn)品可以用于oem)。質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過(guò)程參數(shù)信息,用戶通過(guò)按鍵可以選擇主顯示方式(main mode display)和所測(cè)的氣體(30種校驗(yàn)氣體),調(diào)節(jié)pid參數(shù),將測(cè)量流量清零等。

         
         

         

          數(shù)字輸出(rs-232):    所有的alicat產(chǎn)品均具有標(biāo)準(zhǔn)的rs-232輸出。其信號(hào)通過(guò)8針圓形接頭或6針工業(yè)連接頭傳輸。使用alicatrs-232輸出或輸入通訊串口無(wú)需特別軟件。任何帶有終端程序的設(shè)備,例如windows®操作系統(tǒng)里的“超級(jí)終端”,均可以使用我們的alicat產(chǎn)品。rs-232可以實(shí)現(xiàn)本地顯示上的所有操作功能,例如:清零、更換校驗(yàn)氣體、改變pid等。     對(duì)于質(zhì)量流量控制器,通過(guò)rs-232所顯示的過(guò)程參數(shù)同其本地顯示上數(shù)據(jù)是一致的?刂乒δ芤才c每個(gè)型號(hào)的本地顯示控制模式一致(如右圖所示)。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。 所有的產(chǎn)品均可以根據(jù)用戶的選擇配置為流動(dòng)模式或輪循模式。模擬輸出:    模擬信號(hào)通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來(lái)提供。默認(rèn)的模擬信號(hào)是0-5vdc,可選0-10vdc4-20ma的輸出信號(hào)。alicat質(zhì)量流量控制器提供0-5vdc輸出“質(zhì)量流量”,同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。質(zhì)量流量控制器通過(guò)“se-lect”(出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中,如右上圖所示)來(lái)控制設(shè)定點(diǎn)方式。可選第二路單獨(dú)模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”,同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。體積流量控制器通過(guò)“se-lect”(出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中,參考右上圖)來(lái)控制設(shè)定點(diǎn)方式。應(yīng)用領(lǐng)域:      醫(yī)藥、工業(yè)、過(guò)程控制、實(shí)驗(yàn)室、oem、替換熱式質(zhì)量流量計(jì)、泄漏測(cè)試選項(xiàng)附件1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠(yuǎn)程數(shù)字顯示(rdd 5. 用戶化壓降設(shè)置 6. 電池包(使測(cè)試儀器便攜) 7. 多種獨(dú)立的輸出
        該公司產(chǎn)品分類: 壓力 真空儀表

        氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái) 西安

        陜西歐迅機(jī)電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷售,業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機(jī)、全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)、平口/坡口機(jī)、不銹鋼彎管機(jī)、去毛刺機(jī)等一大批高質(zhì)量、高精密的進(jìn)口管道施工設(shè)備,全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管,管管自熔自動(dòng)焊機(jī)采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法,即管子固定,而焊炬(焊機(jī))沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法,極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來(lái)的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓(xùn),具有了豐富的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn),期待著為您提供專業(yè)、及時(shí)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。  我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐;掃描電鏡;磁控濺射鍍膜;超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備;真空擴(kuò)散;納微涂層;3D打印設(shè)備;焊燃料電池;X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng),至目前已為各科研機(jī)構(gòu)配套多個(gè)項(xiàng)目,經(jīng)驗(yàn)豐富。  我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有:鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動(dòng)切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級(jí)不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級(jí)不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái)等。

        陜西歐迅機(jī)電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷售,業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機(jī)、全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)、平口/坡口機(jī)、不銹鋼彎管機(jī)、去毛刺機(jī)等一大批高質(zhì)量、高精密的進(jìn)口管道施工設(shè)備,全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管,管管自熔自動(dòng)焊機(jī)采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法,即管子固定,而焊炬(焊機(jī))沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法,極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來(lái)的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓(xùn),具有了豐富的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn),期待著為您提供專業(yè)、及時(shí)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。  我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐;掃描電鏡;磁控濺射鍍膜;超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備;真空擴(kuò)散;納微涂層;3D打印設(shè)備;焊燃料電池;X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng),至目前已為各科研機(jī)構(gòu)配套多個(gè)項(xiàng)目,經(jīng)驗(yàn)豐富。  我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有:鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動(dòng)切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級(jí)不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級(jí)不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái)等。

        該公司產(chǎn)品分類: 五金

        S48 300/HMT北京流量計(jì)廠家,氣體流量計(jì)價(jià)格,質(zhì)量流量計(jì)型號(hào),氣體質(zhì)量流量控制器

         技術(shù)指標(biāo)

        4.1 S48 300/HMT MFC技術(shù)指標(biāo)

        表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

        編號(hào)

        項(xiàng)目

        S48 300/HMT

        1

        流量規(guī)格

        (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

        2

        調(diào)節(jié)閥類型

        電磁調(diào)節(jié)閥

        3

        調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

        常閉

        4

        安裝角度

        任意

        5

        流量控制范圍

        2%-100%F.S.

        6

        流量測(cè)量范圍

        0-100%F.S.

        7

        響應(yīng)時(shí)間

        ≤ 1 sec

        8

        工作環(huán)境溫度

        5-50℃

        9

        精度保證溫度

        15-35℃

        10

        精度

        ±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.)

        11

        線性精度

        ±0.5%F.S.

        12

        重復(fù)性

        ±0.2%F.S.

        13

        工作壓差

        -5L/min (50-300)kPa(D)                         10L/min-30L/min (100-300)kPa(D)                50L/min (150-300)kPa(D)

        14

        耐壓

        3MPa(G)

        15

        泄漏率

        <1×10-8Pa·m3/s(He)

        16

        接觸氣體材料

        316L,Viton® 氟橡膠,PTFE

        17

        管路接頭

        Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″

        18

        供電電源

        ±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA

        19

        設(shè)定信號(hào)

        數(shù)字:RS485/RS232

        模擬:0 - +5V,輸入阻抗>10kΩ

        20

        流量輸出信號(hào)

        數(shù)字:RS485/RS232

        模擬:0 - +5V,負(fù)載能力≤3mA

        21

        通訊接口

        數(shù)字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps,

        Modbus RTU 協(xié)議從機(jī),設(shè)備號(hào)可選范圍0-15

        22

        重量(kg)

        0.9

        S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)

           ☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上,結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品,采用當(dāng)今先進(jìn)的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小等特點(diǎn)。

           ☆ RS232/485串口, Modbus(RTU)開(kāi)放協(xié)議。協(xié)議簡(jiǎn)單可靠,兼容性強(qiáng),易于組網(wǎng)。配合上位機(jī),可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。

           ☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小,工作壓力范圍寬。 

           ☆主體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

           ☆可任意角度安裝。

           ☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示,使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。

        配合MT-50或51系列流量顯示儀,可對(duì)氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)量。

        該公司產(chǎn)品分類: 氣體流量計(jì) 顯示儀 電磁閥 流量計(jì)/流量計(jì)控制器

        DSN系列國(guó)產(chǎn)熱式氣體質(zhì)量流量控制器

        用途和特點(diǎn)
            氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller )用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和
        控制。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。
            東莞德欣于對(duì)產(chǎn)品性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn),DSN質(zhì)量流量控制器具有精度高、重
        復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等(可以使用在高壓及真空系統(tǒng))
        特點(diǎn)。操作使用方便,可任意位置安裝,配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀
        使用,也可直接同計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS-232 連接,非常方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。它也可以作為氣體質(zhì)
        量流量計(jì)使用。配合DSN2000流量顯示儀對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。
        主要技術(shù)指標(biāo):
        型號(hào)DSN
         
        序號(hào)
        項(xiàng)目
        內(nèi)容
        DSN—①
        DSN—②
        流量范圍
        0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM;
        0~1,2,3,5,10 ,20,30SLM;
        2
        度(%FS)
        ±2%FS
        ±1%FS
        3
        線性(%FS)
        ±(0.5~2)%F.S
        ±(0.5~1)%FS
        4
        重復(fù)精度(%FS)
        ±0.2%FS
        5
        響應(yīng)時(shí)間(sec)
        電特性:<10;氣特性:<1~4
        6
        工作壓差范圍(MPa)
        0.05~0.3
        7
        耐壓(MPa)
        3,10
        8
        工作環(huán)境溫度(℃)
        5~45
        9
        輸入輸出信號(hào)電壓
        0~+5.00V
        10
        電源
        +15V 500mA,-15V 500mA(輸入阻抗大于100K,
        輸出電流不大于3mA)
        11
        外形尺寸(mm)
        130*28*121
        12
        重量約(kg)
        1.0
         

        Compact氣體質(zhì)量流量控制器熱質(zhì)式

        應(yīng)用范圍:分析儀器/表面涂裝處理/半導(dǎo)體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機(jī)械生產(chǎn)制造/氣體生產(chǎn)設(shè)備/氣壓縮設(shè)備/實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

        技術(shù)指標(biāo):
        顯示方式:4-Digital LCD 液晶顯示;長(zhǎng)條圖形顯示
        顯示單位:可測(cè)氣體,空氣,氧氣,氮?dú)?氦氣,氬氣,二氧化碳,甲烷,丙烷,麻醉性氣體笑氣,六氟化硫,丙烯,一氧化碳,丁烯…..等
        度:+/-1% FS
        滿刻度重設(shè)比例:1:50
        反應(yīng)時(shí)間:500ms 精度優(yōu)于 99%
        電源供應(yīng):鋰電池Type AA,電池壽命約2 年 選配:外接VDC24V,+/-10%
        操作壓力:10bar high on request
        操作溫度:0 - 50℃
        材質(zhì):鋁合金材質(zhì)選配:不繡鋼拋光材質(zhì)/Flow element PBT 工程塑料
        軸封材質(zhì):Viton 選配:EPDM
        IP 等級(jí):IP50 / Panel mount IP65
        符合德國(guó)EMC 安全規(guī)范:EN50081,EN50082
        測(cè)量范圍:
        Code
        Range air
        connection
        Code
        Range air
        connection
        A4
         4-200ml/min
        G1/4”
        C4
        0.4-20l/min
        G1/4”
        A5
         10-500ml/min
        G1/4”
        C5
         1-50l/min
        G1/4”
        B4
         40-2000ml/min
        G1/4”
        D3
         2-100l/min
        G1/2”
        B5
        100-5000ml/min
        G1/4”
        D4
         4-200l/min
        G1/2”

         

        MCALICAT氣體質(zhì)量流量控制器

        一、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量原理圖 二、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

        1、50毫內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

        準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值。快速、可重復(fù)、穩(wěn)定!

        2、操作便捷

        ?     50-100毫控制響應(yīng)

        ?     允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性

        ?     定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性

        ?     同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或絕對(duì)壓力

        ?     瞬間啟動(dòng)、無(wú)需預(yù)熱:1內(nèi)即可開(kāi)始流量控制

        三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

        MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

        全球控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

        MCR 大流量系列

        準(zhǔn)確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無(wú)摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

        MCW / MCRW 低壓損系列

        限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響,滿量程壓損僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列

        所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

        MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)用系列

        可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ,門用于真空應(yīng)用。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。量程:0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)用系列

        MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

        雙向質(zhì)量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。  點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

        四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

        指標(biāo)

        質(zhì)量流量控制器

        量程

        0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM

        精度

        ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)

        重復(fù)性

        ±0.2%

        量程比

        200:1

        響應(yīng)時(shí)間

        100ms

        標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)

        25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

        溫度范圍

        -10~50

        零點(diǎn)漂移

        0.02

        量程漂移

        0.02

        濕度范圍

        0-100%

        測(cè)量流量范圍

        128%(過(guò)流率)

        耐壓

        145psi

        輸出信號(hào)(數(shù)字)

        質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度

        數(shù)字信號(hào)可選

        RS485,Modbus,Profibus

        輸出信號(hào)(模擬)

        質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度

        模擬信號(hào)可選

        0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

        電氣連接

        8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計(jì)而定)

        供電電壓

        7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC)

        供電電流

        0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A)

        該公司產(chǎn)品分類: 溫度儀表 ALICAT液體流量計(jì) 渦輪流量計(jì) 電磁流量計(jì) 液體質(zhì)量流量控制器 液體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量計(jì) 管閥件 分析測(cè)試儀表 壓力儀表 流量?jī)x表

        MC型氣體質(zhì)量流量控制器

        一、產(chǎn)品概述:
         
              該層狀流量控制器采用了一個(gè)比例閥,它與流量計(jì)部分相連。測(cè)量是在流量計(jì)的層狀區(qū)域進(jìn)行的,并且一體化的PID控制器按照用戶的可編程設(shè)定點(diǎn)定位閥門。這些堅(jiān)固的、閉環(huán)控制器可以接收0-5V的控制設(shè)置點(diǎn)信號(hào),設(shè)置點(diǎn)信號(hào)或者來(lái)自一臺(tái)外部的設(shè)備,或者來(lái)自一臺(tái)可選的Alicat本地設(shè)定點(diǎn)模塊(LSPM)。
              控制器還能接受RS-232,0-10Vdc,或4-20mA控制輸入信號(hào),這取決于用戶的選擇愛(ài)好。與設(shè)定點(diǎn)電壓無(wú)關(guān)的是,控制器能配置為單路或雙路信號(hào)輸出,它們可以是同樣的或不同的電壓或參數(shù),例如質(zhì)量流量和溫度或流量和壓力。這是因?yàn)槲覀兊馁|(zhì)量流量控制器綜合了固態(tài)的差壓、絕壓和溫度傳感器來(lái)計(jì)算流量。因此,流量計(jì)不僅使用簡(jiǎn)單而且響應(yīng)快,同時(shí)具有固有的線性和能夠顯示和變送多個(gè)過(guò)程參數(shù)。有了RS-232數(shù)字連接,不僅所有的過(guò)程參數(shù)可以同時(shí)獲得而且還具有遠(yuǎn)程設(shè)置點(diǎn)能力。
         
             在并行連接中,最多26臺(tái)設(shè)備能被單獨(dú)尋址和控制。氣體量程從每分鐘0.5毫升滿量程到每分鐘1500+升滿量程。規(guī)格尺寸標(biāo)注在設(shè)備背面,規(guī)格尺寸隨著工況的不同可能有所不同。(體積流量計(jì)不需要絕壓傳感器或離散溫度傳感器,因此會(huì)便宜些。他們常用于通風(fēng)到大氣或小的背壓應(yīng)用。)
         
        二、流量控制器的性 1. 壓力,溫度,體積和質(zhì)量流量的持續(xù)顯示(M系列) 2. 簡(jiǎn)易的按鍵操作界面 3. 無(wú)熱線圈的熱漂移 4. 固有的線性 5. 通過(guò)CE認(rèn)證 6. 可標(biāo)注用戶商標(biāo) 7. NIST Traceability 8. 設(shè)定點(diǎn)可通過(guò)動(dòng)態(tài)數(shù)字顯示 9. RS232串行輸出標(biāo)準(zhǔn)
         
        三、設(shè)計(jì)特點(diǎn) 1. 滿量程從0.5CCM到1500LPM+ 2. 響應(yīng)時(shí)間100ms 3. 量程比優(yōu)于100:1 4. 位置不敏感 5. 自動(dòng)復(fù)位或在顯示屏上按復(fù)位鍵(Tare)復(fù)位 6. ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) 7. 17種氣體選擇,無(wú)須重新校驗(yàn)(須帶顯示) 8. 動(dòng)態(tài)數(shù)字顯示 9. 本地控制能力 

        產(chǎn)品規(guī)格
        MC
        測(cè)量單位
        量程范圍
        0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500,800
        (S)CCM
        1,2,5,10,20,50,100,250,500,1000,1500
        (S)LPM
        精度等級(jí)
        ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)
        滿量程
        重復(fù)性
        ±0.5%
        滿量程
        量程比
        100:1
         
        響應(yīng)時(shí)間
        100
        毫秒
        壓降
        -
        與廠家商議
        操作溫度
        -10~50
        零點(diǎn)漂移
        0.02%/ATM
        滿量程/℃
        范圍漂移
        0.02%/ATM
        滿量程/℃
        濕度量程
        0-100%
        無(wú)冷凝
        過(guò)流率
        2.4%
        滿量程
        最大耐壓
        125
        PSIG
        供應(yīng)電流
        當(dāng)流量≤20LPM時(shí): 0.25 當(dāng)流量≥50LPM時(shí): 1
        安培
        電源電壓
        當(dāng)流量≤20LPM時(shí):12-25VDC 當(dāng)流量≥50LPM時(shí):24-30VDC
         
        輸入/輸出
        0-5VDC,0-10VDC,4-20mA,RS-232
        VDC
        電氣連接
        8針或可選的工業(yè)連接插頭
        小型圓插頭 DIN
        機(jī)械連接
        1/8"接口:流量≤20(S)LPM 閥門側(cè)1/2"接口,流量計(jì)側(cè)1/4"接口:當(dāng)流量為50(S)LPM和100(S)LPM時(shí) 1/2"接口:當(dāng)流量為250~1000(S)LPM 1"接口:當(dāng)流量>1000(S)LPM
        NPTF
        接液部件
        303和302不銹鋼,Viton®,RTV硅樹(shù)脂,玻璃纖維增強(qiáng)尼龍,陽(yáng)極氧化鋁,410&304不銹鋼,鎳,銅,Delrin®,Loctite®粘劑326,401,609

        產(chǎn)品尺寸:

        流量范圍
        高度
        長(zhǎng)度
        深度
        流量計(jì)接口
        閥門接口
        ≤20(S)LPM
        4.08"
        3.5"
        1.56"
        1/8" NPT(F)
        1/8" NPT(F)
        20~50(S)LPM
        4.600"
        ~5.7"
        2.0"
        1/4" NPT(F)
        1/2" NPT(F)
        50~100(S)LPM
        4.727"
        ~6.6"
        2.0"
        1/4" NPT(F)
        1/2" NPT(F)
        100~1000(S)LPM
        5.242"
        ~6.6"
        2.0"
        1/2" NPT(F)
        1/2" NPT(F)

        注意事項(xiàng):特別低的流量裝置可能配有特殊接口以減少死區(qū)量。有時(shí)候,特殊的流量/壓力條件可能規(guī)定各種接口尺寸的組合。

        最新產(chǎn)品

        熱門儀器: 液相色譜儀 氣相色譜儀 原子熒光光譜儀 可見(jiàn)分光光度計(jì) 液質(zhì)聯(lián)用儀 壓力試驗(yàn)機(jī) 酸度計(jì)(PH計(jì)) 離心機(jī) 高速離心機(jī) 冷凍離心機(jī) 生物顯微鏡 金相顯微鏡 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 生物試劑
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