1. 用途及特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡(jiǎn)稱MFC )能夠在較大的量程

范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

氣體質(zhì)量流量計(jì)( Mass Flow Meter 簡(jiǎn)稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)

對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。

它們?cè)谑I(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和

真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝

設(shè)備，如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.于對(duì)產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對(duì)M 系列氣

體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）進(jìn)行了的技術(shù)改造，

在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。

M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重

復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自

動(dòng)控制。

M3100V 和M3100A 型 氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）性能指標(biāo)

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

項(xiàng) 目 M31000V 和M3100A

1 流量規(guī)格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以為客戶在25slpm ～ 120slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標(biāo)定）

2 度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重復(fù)精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應(yīng)時(shí)間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 : 95 bar

6 工作環(huán)境溫度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號(hào): 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

8 電源 :±15Vdc, 350mA

 

氣路接頭形式

可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

13917099687  范先生

型號(hào) 日本山武（YAMATAKE） 日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ        數(shù)量 大量庫(kù)存        產(chǎn)品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，使用山武公司獨(dú)有的感熱式微流量傳感器和高精度的比例閥，具有響應(yīng)快、精度高、控制范圍寬等特點(diǎn)，能滿足多種工業(yè)控制要求。        基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范圍 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min適用氣體 氮?dú)?、空氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、城市煤?3A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100%                                       控制范圍 1--100%FS                                                                                                              響應(yīng)速度 0.5秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS                                                          1秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS                     閥門輸出更新周期 10ms                                                                                                                  精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS標(biāo)準(zhǔn)差壓 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差壓范圍 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐壓 980KPa                                                                                                                 設(shè)定方法 1、鍵盤操作  2、外部設(shè)定電壓輸入  3、通訊                                                                                  設(shè)定輸入電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過(guò)組態(tài)設(shè)定和外部開(kāi)關(guān)輸入選擇）                                                                   輸出電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過(guò)組態(tài)設(shè)定和外部開(kāi)關(guān)輸入選擇）                                                                         輸出點(diǎn)數(shù) 報(bào)警輸出：1點(diǎn) ； 事件輸出：2點(diǎn)                                                                                         外部開(kāi)關(guān)輸入 外部3位開(kāi)關(guān)輸入（OPEN/GND/5V）：1點(diǎn) ；外部節(jié)電輸入（2位開(kāi)關(guān)）：3點(diǎn)                                                       安裝方式 水平安裝，顯示部不可向下                                                                                                 電源 DC15--24V  消耗電流：300mA  max                                                DC24V / 400mA max    DC24V/500mA重量 約1.2Kg                                                                      約3.5Kg                        

上海洪柯自動(dòng)化儀表公司推出的D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）/氣體質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Metre)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽(yáng)能、分析儀器、光電、制氣、醫(yī)療、電力、化工等各個(gè)領(lǐng)域。產(chǎn)品具有精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、性價(jià)比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。

流量規(guī)格（N2）：	(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM
準(zhǔn)確度：	±1%F.S.
線性：	±0.5%F.S.
重復(fù)精度：	±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間：	≤1Sec
工作壓差范圍：	(0.05~0.3)MPa
最大耐壓：	10MPa
工作環(huán)境溫度：	5~65℃
電氣連接：	8 Pin（Mini S Plug）
輸入/輸出信號(hào)	Digital：RS232/RS485； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
電源：	7~16VDC 1A；或24VDC500mA
標(biāo)準(zhǔn)接頭：	Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…； VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″…
外形尺寸	130*28*121mm
重量約	1.0kg

氣體質(zhì)量流量控制器
	產(chǎn)品特點(diǎn)：1.          滿量程從0.5(s)ccm到1500(s)lpm2.          響應(yīng)時(shí)間10ms3.          量程比優(yōu)于100：14.          精度±0.8％讀數(shù)±0.2％fs（可選±0.4％讀   讀數(shù)±0.2％fs）5.          lcd大屏幕，動(dòng)態(tài)數(shù)字同時(shí)顯示質(zhì)量流量、 量、體積流量、溫度和絕壓6.          rs-232或模擬信號(hào)輸出7.          安裝位置不敏感8.    現(xiàn)場(chǎng)可選30種校驗(yàn)氣體
差壓原理與熱式原理對(duì)照表 alicat差壓原理和熱式原理的對(duì)照表 指 標(biāo) alicat層流差壓式原理 典型熱式原理 傳感器 固態(tài)硅基差壓傳感器 rtd或熱電偶 流量范圍 滿量程從0.5sccm到1500slpm 滿量程從3sccm到1000slpm 響應(yīng)時(shí)間 10毫秒(控制器100 毫秒) 0.3-3.0秒 顯示屏 標(biāo)準(zhǔn)，內(nèi)置 可選項(xiàng)，外部裝配 預(yù)熱時(shí)間 ＜1秒 8-30分鐘 累計(jì)流量 可選項(xiàng)，內(nèi)置 可選項(xiàng)，外部裝配 過(guò)程數(shù)據(jù) 內(nèi)置顯示屏顯示質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對(duì)壓力 質(zhì)量流量 輸出選項(xiàng) 標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置顯示屏，模擬信號(hào)（0-5vdc,0-10vdc,1-5vdc或4-20ma）和標(biāo)準(zhǔn)rs232接口； 可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對(duì)壓力 標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出，可選顯示屏，可選數(shù)字輸出 數(shù)字輸出 標(biāo)準(zhǔn)輸出包括質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對(duì)壓力、測(cè)量氣體；可選累計(jì)流量；標(biāo)準(zhǔn)multi-dr-op rs232接口 可選質(zhì)量流量數(shù)字輸出；無(wú)multi-dr-op選項(xiàng) 供應(yīng)電源 7-30vdc,35ma的標(biāo)準(zhǔn)ac/dc轉(zhuǎn)換電源； 可使用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的9v電池包供電 特殊供應(yīng)電源，正和負(fù)的穩(wěn)定15vdc 過(guò)程連接 標(biāo)準(zhǔn)的npt或小巧的氣動(dòng)配件，可選sae,bspp等接頭 特制swagelok?、vcr等 多種氣體測(cè)量性 可從內(nèi)置菜單選擇30種標(biāo)準(zhǔn)氣體 單一氣體，需指定 固有線性 有 無(wú) 文件 內(nèi)置顯示屏顯示型號(hào)數(shù)、連續(xù)號(hào)數(shù)、制造日期、校驗(yàn)技術(shù)員和軟件版本、型號(hào)/連續(xù)號(hào)，簽條也同樣為標(biāo)準(zhǔn)的 產(chǎn)品的貼紙上 產(chǎn)品簡(jiǎn)介： alicat氣體質(zhì)量流量計(jì)利用兩個(gè)已研究透徹的氣體物理屬性：壓力和粘性來(lái)測(cè)量流量。通過(guò)層狀流量單元的差壓測(cè)量來(lái)計(jì)算流量，這種測(cè)量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來(lái)測(cè)量并補(bǔ)償氣體的壓力、溫度，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（如1個(gè)大氣壓@25℃）下氣體的體積流量。可測(cè)量4種參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓，可選累計(jì)流量，并且可以通過(guò)動(dòng)態(tài)顯示屏同時(shí)顯示?？蛇x電池使得該款產(chǎn)品方便攜帶，常用于測(cè)試和校準(zhǔn)工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。    alicat氣體體積流量計(jì)采用差壓傳感器來(lái)測(cè)量當(dāng)前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒(méi)有內(nèi)置絕壓和溫度傳感器，價(jià)格會(huì)便宜一些，是相對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)的另一種選擇。本地顯示：    alicat所有產(chǎn)品均提供本地顯示標(biāo)準(zhǔn)功能（無(wú)顯示產(chǎn)品可以用于oem）。質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過(guò)程參數(shù)信息，用戶通過(guò)按鍵可以選擇主顯示方式（main mode display）和所測(cè)的氣體(30種校驗(yàn)氣體)，調(diào)節(jié)pid參數(shù)，將測(cè)量流量清零等。

    數(shù)字輸出（rs-232）：    所有的alicat產(chǎn)品均具有標(biāo)準(zhǔn)的rs-232輸出。其信號(hào)通過(guò)8針圓形接頭或6針工業(yè)連接頭傳輸。使用alicat的rs-232輸出或輸入通訊串口無(wú)需特別軟件。任何帶有終端程序的設(shè)備，例如windows®操作系統(tǒng)里的“超級(jí)終端”，均可以使用我們的alicat產(chǎn)品。rs-232可以實(shí)現(xiàn)本地顯示上的所有操作功能，例如：清零、更換校驗(yàn)氣體、改變pid等。     對(duì)于質(zhì)量流量控制器，通過(guò)rs-232所顯示的過(guò)程參數(shù)同其本地顯示上數(shù)據(jù)是一致的?？刂乒δ芤才c每個(gè)型號(hào)的本地顯示控制模式一致（如右圖所示）。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。 所有的產(chǎn)品均可以根據(jù)用戶的選擇配置為流動(dòng)模式或輪循模式。模擬輸出：    模擬信號(hào)通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來(lái)提供。默認(rèn)的模擬信號(hào)是0-5vdc，可選0-10vdc或4-20ma的輸出信號(hào)。alicat質(zhì)量流量控制器提供0-5vdc輸出“質(zhì)量流量”，同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。質(zhì)量流量控制器通過(guò)“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，如右上圖所示）來(lái)控制設(shè)定點(diǎn)方式。可選第二路單獨(dú)模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”，同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。體積流量控制器通過(guò)“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，參考右上圖）來(lái)控制設(shè)定點(diǎn)方式。應(yīng)用領(lǐng)域:      醫(yī)藥、工業(yè)、過(guò)程控制、實(shí)驗(yàn)室、oem、替換熱式質(zhì)量流量計(jì)、泄漏測(cè)試選項(xiàng)附件：1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠(yuǎn)程數(shù)字顯示（rdd） 5. 用戶化壓降設(shè)置 6. 電池包（使測(cè)試儀器便攜） 7. 多種獨(dú)立的輸出

陜西歐迅機(jī)電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷售，業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機(jī)、全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)、平口/坡口機(jī)、不銹鋼彎管機(jī)、去毛刺機(jī)等一大批高質(zhì)量、高精密的進(jìn)口管道施工設(shè)備，全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管，管管自熔自動(dòng)焊機(jī)采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊機(jī)）沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法，極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來(lái)的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓(xùn)，具有了豐富的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，期待著為您提供專業(yè)、及時(shí)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。  我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐；掃描電鏡；磁控濺射鍍膜；超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備；真空擴(kuò)散；納微涂層；3D打印設(shè)備；焊燃料電池；X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng)，至目前已為各科研機(jī)構(gòu)配套多個(gè)項(xiàng)目，經(jīng)驗(yàn)豐富。  我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有：鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動(dòng)切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級(jí)不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級(jí)不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái)等。

陜西歐迅機(jī)電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷售，業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機(jī)、全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)、平口/坡口機(jī)、不銹鋼彎管機(jī)、去毛刺機(jī)等一大批高質(zhì)量、高精密的進(jìn)口管道施工設(shè)備，全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管，管管自熔自動(dòng)焊機(jī)采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊機(jī)）沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法，極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來(lái)的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓(xùn)，具有了豐富的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，期待著為您提供專業(yè)、及時(shí)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。  我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐；掃描電鏡；磁控濺射鍍膜；超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備；真空擴(kuò)散；納微涂層；3D打印設(shè)備；焊燃料電池；X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng)，至目前已為各科研機(jī)構(gòu)配套多個(gè)項(xiàng)目，經(jīng)驗(yàn)豐富。  我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有：鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動(dòng)切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級(jí)不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級(jí)不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái)等。

 技術(shù)指標(biāo)

4.1 S48 300/HMT MFC技術(shù)指標(biāo)

表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

編號(hào)	項(xiàng)目	S48 300/HMT
1	流量規(guī)格	（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10,20,30,50）L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-100%F.S.
6	流量測(cè)量范圍	0-100%F.S.
7	響應(yīng)時(shí)間	≤ 1 sec
8	工作環(huán)境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.（≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.）
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復(fù)性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min （50-300）kPa（D）                         10L/min-30L/min （100-300）kPa（D）                50L/min （150-300）kPa（D）
14	耐壓	3MPa（G）
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s（He）
16	接觸氣體材料	316L，Viton® 氟橡膠，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	設(shè)定信號(hào)	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號(hào)	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA
21	通訊接口	數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號(hào)可選范圍0-15
22	重量（kg）	0.9

S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)

　　　☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今先進(jìn)的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小等特點(diǎn)。

　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開(kāi)放協(xié)議。協(xié)議簡(jiǎn)單可靠，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。

　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。 

　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

　　　☆可任意角度安裝。

　　　☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。

配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對(duì)氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)量。

 

應(yīng)用范圍：分析儀器/表面涂裝處理/半導(dǎo)體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機(jī)械生產(chǎn)制造/氣體生產(chǎn)設(shè)備/氣壓縮設(shè)備/實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

 

一、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量原理圖 二、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

1、50毫內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值。快速、可重復(fù)、穩(wěn)定！

2、操作便捷

?     50-100毫控制響應(yīng)

?     允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性

?     定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性

?     同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或絕對(duì)壓力

?     瞬間啟動(dòng)、無(wú)需預(yù)熱：1內(nèi)即可開(kāi)始流量控制

三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

全球控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

準(zhǔn)確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無(wú)摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)用系列

可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ，門用于真空應(yīng)用。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)用系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。  點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標(biāo)	質(zhì)量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時(shí)間	100ms
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點(diǎn)漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測(cè)量流量范圍	128％（過(guò)流率）
大耐壓	145psi
輸出信號(hào)（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度
數(shù)字信號(hào)可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號(hào)（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度
模擬信號(hào)可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）

產(chǎn)品規(guī)格	MC	測(cè)量單位
量程范圍	0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800	(S)CCM
	1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500	(S)LPM
精度等級(jí)	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）	滿量程
重復(fù)性	±0.5%	滿量程
量程比	100：1
響應(yīng)時(shí)間	100	毫秒
壓降	-	與廠家商議
操作溫度	-10～50	℃
零點(diǎn)漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
范圍漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
濕度量程	0-100%	無(wú)冷凝
過(guò)流率	2.4%	滿量程
最大耐壓	125	PSIG
供應(yīng)電流	當(dāng)流量≤20LPM時(shí)： 0.25 當(dāng)流量≥50LPM時(shí)： 1	安培
電源電壓	當(dāng)流量≤20LPM時(shí)：12-25VDC 當(dāng)流量≥50LPM時(shí)：24-30VDC
輸入/輸出	0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232	VDC
電氣連接	8針或可選的工業(yè)連接插頭	小型圓插頭 DIN
機(jī)械連接	1/8"接口：流量≤20(S)LPM 閥門側(cè)1/2"接口，流量計(jì)側(cè)1/4"接口：當(dāng)流量為50(S)LPM和100(S)LPM時(shí) 1/2"接口：當(dāng)流量為250～1000(S)LPM 1"接口：當(dāng)流量＞1000(S)LPM	NPTF
接液部件	303和302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹(shù)脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，陽(yáng)極氧化鋁，410&304不銹鋼，鎳，銅，Delrin®，Loctite®粘劑326，401，609

流量范圍	高度	長(zhǎng)度	深度	流量計(jì)接口	閥門接口
≤20（S）LPM	4.08"	3.5"	1.56"	1/8" NPT(F)	1/8" NPT(F)
20～50（S）LPM	4.600"	～5.7"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
50～100（S）LPM	4.727"	～6.6"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
100～1000（S）LPM	5.242"	～6.6"	2.0"	1/2" NPT(F)	1/2" NPT(F)