��̖(h��o)	Vertex251	Vertex12x12
XY ����	Uxy=2.0+L/250	Uxy=2.6+L/175
Z ����	Ux=2.5+L/150	Ux=3.0+L/150
XY �جF(xi��n)��	2.0μm	2.5μm
Z �جF(xi��n)��	2.0μm	2.0μm
XY ���ٶ�	500mm/S2
Z ���ٶ�	200mm/S2
XY �Ƅ�(d��ng)�ٶ�	250mm/s
Z �Ƅ�(d��ng)�ٶ�	100mm/s
��W(xu��)�߷ֱ���	1.0μm, 0.5μm, 0.1μm
���y(c��)�г�	200x150x150mm	300x300x150mm
���γߴ�	760x635x965mm	1090x865x990mm
����	60kg	125kg
���d����	7.5kg	12kg
�������|(zh��)	�X�Ͻ��������r�xُl��
����(d��ng)��ʽ	Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z
늿�ϵ�y(t��ng)	�ŷ�ϵ�y(t��ng): CNC, ���(bi��o), �u�U
��W(xu��)ϵ�y(t��ng) &�Ŵ���	12:1 ��W(xu��) Zoom, 17-410x �� 6.5:1��W(xu��) Zoom, 20-250x
Ӱ�� & ��Դ	�t��LED ���ڰ�ϵ�y(t��ng)����׹� LED����ɫϵ�y(t��ng)��
ܛ��	InSpec for Windows Metrology Software
�����h(hu��n)��	20��±2°,30-80% ���

��̖(h��o)	SV120	SV130	SV140
���y(c��)�г̣�X/Y/Z��	200x150x150mm	300x200x150mm	400x300x200mm
���^�ߴ磨L/W/H��	600x600x910mm	700x700x940mm	750x900x1100mm
���C(j��)����	165kg	225kg	465kg
�C(j��)�_(t��i)ؓ(f��)��	20kg	25kg	30kg
���_(t��i)���|(zh��)	��|(zh��)-����Ӳ������̎��
�������|(zh��)	����ʯ����
X/Y����	Uxy=3.0+L/150μm	Uxy=3.0+L/150μm	Uxy=3.0+L/150μm
Z����	Uz=3.0+L/100μm	Uz=3.0+L/100μm	Uz=3.0+L/100μm
X/Y�جF(xi��n)����	Uxy=3.0	Uxy=3.0	Uxy=3.0
Z�جF(xi��n)����	Ux=3.0	Ux=3.0	Ux=3.0
��W(xu��)�߷ֱ���	��	��	��
�zӰ�C(j��)	�߷ֱ��ʲ�ɫCCD, 768x494 Pixel Array
݆����Դ	LED,���{(di��o)��ʽ
�����Դ	LED�h(hu��n)�͹�Դ�����{(di��o)��ʽ�����h(hu��n)��
�R�^	�o��׃���R�^��0.75��5X��
���y(c��)ܛ��	QM-2800�׺����y(c��)ܛ�������x���������y(c��)ܛ����

 XTDP ���S�zӰ�y(c��)��ϵ�y(t��ng)��������ͨ�η����C(j��)�������y(c��)���C(j��)����ͨ�^������S��Ƭ�����ڹ��I(y��)�����zӰ�y(c��)��ԭ�����ؽ����������P(gu��n)�I�c(di��n)���S����(bi��o)�����ڌ�(du��)���������ͣ����׵���ʮ�ף����w���P(gu��n)�I�c(di��n)�M(j��n)�����S�y(c��)���� ϵ�y(t��ng)��(y��u)��(sh��)�c���y(t��ng)������(bi��o)�y(c��)���x��ȣ��]�ЙC(j��)е�г����������ܱ��y(c��)���w�Ĵ�С���w�e�����ε����ƣ��܉���Ч�p���۷e�`����������w���S��(sh��)��(j��)�Ĝy(c��)�����������Դ���?zh��n)��y(t��ng)�ļ����ۙ�x���P(gu��n)��(ji��)������(j��ng)���x�ȣ����қ]�з�������վ���}��������͹����y(c��)

 

ϵ�y(t��ng)��(g��u)��

�������܆η����C(j��)

�����a��(bi��o)־�c(di��n)

���Ǿ��a��(bi��o)־�c(di��n)

����(bi��o)��

��Ӌ(j��)��C(j��)

���z�y(c��)����ܛ����

 

���g(sh��)���c(di��n)

�� ����(n��i)�ׂ�(g��)�����аl(f��)�Ĺ��I(y��)�����zӰ�y(c��)��ϵ�y(t��ng)��

�� �߾��ȵ����C(j��)��(bi��o)���㷨���m���ڶ�N��(sh��)�a���C(j��)��

�� ����֪�R(sh��)�a(ch��n)��(qu��n)�ĺ����㷨���_(d��)���������M(j��n)ˮƽ��

�� �y(c��)�������󣺿ɜy(c��)�� 0.3m~30m ���������w��

�� �y(c��)�����ȸߣ���߾��ȿ��_(d��)±0.015mm/m��

�� �y(c��)���ٶȿ죺���շ��������Ӌ(j��)���ٶȿ죬�y(c��)���Y(ji��)�����S��ҕ����

�� �߂� CAD ��(sh��)ģ��(du��)��ģ�K���������|(zh��)���z�y(c��)��

�� �߂��o�B(t��i)׃�Μy(c��)��ģ�K���ɜy(c��)������׃�Δ�(sh��)��(j��)��

�� �������㣺�O(sh��)�䲻��Ҫ����У����ʹ�÷�������(du��)�����ˆT�o����Ҫ��

�� �m��(y��ng)�ԏ�(qi��ng)�����ܭh(hu��n)�����y(c��)����������������܇�g�򹤘I(y��)�F(xi��n)���y(c��)����

�� ��yʽ�O(sh��)Ӌ(j��)���O(sh��)���p�㣬���˿ɔy������_չ�y(c��)��������

 

���g(sh��)�f��

 

�����ļ��g(sh��)�����I(y��)�����zӰ�y(c��)��

���y(c��)���Y(ji��)�������S����(bi��o)�����S�

���y(c��)�����棺֧�֎�ʮ���׵���ʮ�׵Ĝy(c��)������

���y(c��)�����C(j��)��֧�ֶ�N�η������I(y��)���C(j��)�D��Ӌ(j��)��

�����C(j��)��(sh��)Ŀ��֧�ֆ΂�(g��)���C(j��)�����(g��)���C(j��)�D��ͬ�r(sh��)Ӌ(j��)�㣬��ߴ��͹����Ĝy(c��)��Ч��

�����C(j��)��(bi��o)����ܛ���Ԙ�(bi��o)����֧�ֶ�N���C(j��)�R�^��׃ģ��

���y(c��)�����ȣ����±0.015mm/m

����(bi��o)־�c(di��n)��ͣ�֧��10��12��15λ���a�c(di��n)��֧�ֺڵװ��c(di��n)���׵׺��c(di��n)��������Ϳɶ���

���o�B(t��i)׃�η�����ͨ�^��Μy(c��)����ͬ׃�Π�B(t��i)�µ��^�y(c��)��(bi��o)־�c(di��n)���S����(bi��o)�������M(j��n)���P(gu��n)�I�c(di��n)���S׃��ƫ��Ӌ(j��)���ɫ�V�D������λ�Ɯy(c��)���Y(ji��)�������Sҕ�D�����侀��ɫ�V��ʽ�L�����挍(sh��)���_(d��)���S�c(di��n)��׃���c�\(y��n)��(d��ng)

�����S��(sh��)ģ��(du��)�ȣ����Ԍ�(du��)���y(c��)�����cCAD��(sh��)ģ�M(j��n)�����S�׺��Π�Ȍ�(du��)�����ٷ�����M(j��n)�д��͹����Įa(ch��n)Ʒ�����|(zh��)���ęz�y(c��)֧�� stl��iges��step�ȶ�N��(sh��)ģ�ļ���ʽ����(du��)�ȽY(ji��)�����S��ɫ�@ʾ

������a(b��)�����ܣ��߂侎�a�c(di��n)���Ǿ��a�c(di��n)����Ԅ�(d��ng)�a(b��)������

������(bi��o)�D(zhu��n)�Q���ܣ�321�D(zhu��n)�Q�������c(di��n)�M�ϡ�ȫ���c(di��n)�D(zhu��n)�Q������D(zhu��n)�Q�ȶ�N����(bi��o)�D(zhu��n)�Q����

��Ԫ�؄�(chu��ng)�����ܣ����Ԅ�(chu��ng)�����S�c(di��n)�����������A���ۿ������οס������A�����A�F�ȶ�N���SԪ��

��������(chu��ng)�����ܣ����Ԅ�(chu��ng)���c(di��n)�c(di��n)���x���c(di��n)�����x���c(di��n)����x�������A��������A��������A�ǵȶ�N����

����˼��٣����CPU�����\(y��n)�������ϵ�y(t��ng)�����ٶ�

��ϵ�y(t��ng)�����ԣ�����32λ��64λϵ�y(t��ng)

 

 24С�r(sh��)�ھ�����(w��)���ɸ���(j��)�����ṩ���ƣ�